高真空度抽不上但不漏气（指真空计长时间数值不动）

2.扩散泵油老化

1.更换真空规管

2.更换扩散泵油

低真空抽不上但不漏气（指真空表长时间数值不动）

2.机械泵油老化

2.更换机械泵油

使用一段时间后温度升不上去

加热器电阻值变大。

1.根据仪表说明书调大仪表输出功率。

2.严重老化只能更换新的加热器

控制柜面板上的过流指示灯亮着并报警

加热器有短路

打开炉盖观察加热器是否有短路，排除故障。

超温报警灯亮着并报警

2.仪表设定有误

按说明书重设超温报警参数

断水指示灯亮着并报警

1.没打开水阀

2.水压过低

1.打开水阀

2.调高水压